真空镀膜设备在工作的时候会产生大量的热量，为了设备的长期温度的使用，所以真空镀膜设备在工作的时候必须通入冷却水维持其温度，避免温度过高造成设备的老化或者损坏。真空镀膜设备冷却主要分为腔体冷却和靶材冷却。
腔体冷却是只真空镀膜腔体在工作的时候其内部会产生高温，避免腔体因高温导致老化所以在其腔体内部一般需要通入冷却水进行控温靶材冷却是只镀膜是的靶材会通入大量电流进入从而导致靶材温度升高，若不能及时进行冷却降温将会导致靶材的损坏。
真空镀膜设备在工作的时候会产生大量的热量，为了设备的长期温度的使用，所以真空镀膜设备在工作的时候必须通入冷却水维持其温度，避免温度过高造成设备的老化或者损坏。真空镀膜设备冷却主要分为腔体冷却和靶材冷却。
腔体冷却是只真空镀膜腔体在工作的时候其内部会产生高温，避免腔体因高温导致老化所以在其腔体内部一般需要通入冷却水进行控温靶材冷却是只镀膜是的靶材会通入大量电流进入从而导致靶材温度升高，若不能及时进行冷却降温将会导致靶材的损坏。
