40HP半导体风冷涡旋冷水机

40HP Air-Cooled Scroll Chiller for Semiconductor Fabs

系列型号：HX-FW

制冷量范围：3~200 kW

温度范围：5°C ~ 30°C

类型：风冷涡旋式

产品简介：

专为半导体电子工业定制的HX-40FW半导体冷水机，主打大功率输出与高精度温控。该设备作为一款性能可靠的半导体风冷涡旋冷水机，可承载芯片蚀刻、晶圆扩散、光刻散热等核心高热工序，有效避免因温度波动导致的微纳结构畸变或良品率下降。系统采用重载抗扰设计，支持7×24小时全天候严苛工况稳定运行，助力半导体制造企业达成标准洁净量产。

产品优势： 

内置多级PID温控系统，控温精度高，契合芯片制造中严苛的低温与恒温工艺曲线，稳固电子元器件核心品质。作为性能可靠的精密温控设备与芯片制造冷却系统，搭载双回路涡旋压缩机，制冷能效表现优异、负载响应敏捷，长时间重载运行不易发生热过载。整机采用模块化防腐风冷架构，契合微电子车间洁净环境，兼具低噪音、低故障率与便捷维护特性，大幅缩减综合运营成本。作为系列中的40HP重载款，这款HX-40FW工业冷水机可轻松驾驭复杂多变的产线散热需求。

应用场景：

封装测试恒温： 满足半导体成品封装与电性能测试车间的全天候恒温环境，保障测试数据精准。

芯片蚀刻温控： 为高精密微观蚀刻设备提供持续强劲的冷量，防止因局部过热引起微纳结构偏差。

光刻机组散热： 适配光刻光学系统的热平衡要求，消除热畸变，确保芯片图形曝光精度。